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争夺光刻技术:尼康向ASML发起诉讼

时间:2021-07-17 17:35 点击次数:
  本文摘要:前不久,尼康启动了一系列对于竞争者ASML企业光刻系统软件以及重要光电器件经销商蔡司企业的专利侵权个人行为诉讼。在西班牙,尼康日企早就提交了十一项对于ASML的诉讼,并宣称将在日本东京的法院采行更进一步的行動。控诉目标还包含了在法国曼海姆的蔡司企业,该企业是运营梅帝蔡司半导体材料生产工艺(SMT)的分公司。 ASML企业马上做出对于此事,称作将对“多余的”诉讼进行自辩。在文艺创作改稿的情况下,蔡司仍未接到月对于此事。

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前不久,尼康启动了一系列对于竞争者ASML企业光刻系统软件以及重要光电器件经销商蔡司企业的专利侵权个人行为诉讼。在西班牙,尼康日企早就提交了十一项对于ASML的诉讼,并宣称将在日本东京的法院采行更进一步的行動。控诉目标还包含了在法国曼海姆的蔡司企业,该企业是运营梅帝蔡司半导体材料生产工艺(SMT)的分公司。

ASML企业马上做出对于此事,称作将对“多余的”诉讼进行自辩。在文艺创作改稿的情况下,蔡司仍未接到月对于此事。

ASML将在数日内对梅帝蔡司半导体材料生产工艺企业顺利完成十亿英镑的股权投资,做为产品研发下一代光刻电子光学的一部分。讨论泡浸式光刻技术尼康的诉讼集中化于在沉浸式体验光刻技术,是一种电子光学“方法”。该技术性作为扩大半导体元器件中外貌的尺寸,已被广泛用以了多年。

十多年前,涉及到企业签署了一项有关技术性的交叉式授权文件,该协议书要求了一段同样的時间内,还包含一些专利权永久性的批准和别的条文。ASML答复,在过渡期内彼此已完全同意不启动一切诉讼,二零一四年末该协议书期满。

西班牙企业CEOPeterWennink宣称自那时候至今,尼康还没有月起动交涉此前协议书的试着。“尼康的诉讼是凭空捏造的,多余的,并降低了半导体业的可变性,”他讲到。“过去的两年中,ASML早就数次妄图根据交涉与尼康争辩交叉式授权文件的扩展。

令其大家消沉的是,尼康没做出一切严肃认真的期待谈判,却随意选择了采行法律法规行動。“大家强调,交涉結果将不容易对全部领域不好,并提高艺术创意和合作。这类多余的专利权诉讼使大家集中化了对的确最重要的物品的瞩目:为了更好地处理芯片生产商的权益拓张技术性往前发展趋势。

大家理应在销售市场上市场竞争,而不是在法庭上。”这类各不相同与尼康的各不相同相符合,日企在其发布的申明中称作:“尼康早就和ASML和蔡司为达成共识一个解决困难这种难题的计划方案进行了见面。

可是这种期待,即便 在一位阅历丰富的调解员的推动下,也没能造成解决方法。ASML和蔡司以后给予批准用以尼康的发明专利促使尼康不顾一切,仅有根据法律制裁来解决困难。

”公司老总KazuoUshida讲到:“大家相信,ASML给予批准用以尼康的专利权是大家最技术设备的技术性,还包含自来水龙头式光刻技术,这使ASML不断发展了其光刻的业务流程。对专利权的认可是公正和身心健康市场竞争的基本,对提高艺术创意并为社会发展获得最技术设备的商品和服务项目而言也是适度的。

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这就是为何大家规定刚开始这次诉讼。”可否达成共识早在二零零一年,尼康就在英国驳回申诉了初期诉讼,依据日企答复赞成的条文,最终在2004达成共识让步。

殊不知,让步协议书还包含说白了的“非肯定”期内,尼康如今已经谋取赔偿费。“ASML和蔡司也不不肯拒不接受的条文最能体现尼康的发明专利的使用价值。”(尼康)企业说。尽管近些年的瞩目聚焦点是在极紫外光(EUV)光刻系统软件的发展趋势,根据泡浸式氧化铋氩激光近视手术器的Q电动机的市场销售(ARF)仍是ASML现阶段盈利的基本。

依据西班牙企业自身的数据信息,二零一六年ASML四分之三的销售总额来源于氧化铋氩自来水龙头式专用工具,约相同35亿英镑。就在上星期,ASML报道称作氧化铋氩自来水龙头式系统软件占据其现阶段37%的库存商品–相同约17亿英镑的销售总额。

本质上,自来水龙头光刻技术的基本原理能够上溯梅帝·蔡司在第十九新世纪得到 的,本作为提高光学显微镜屏幕分辨率的成效。近期,该成效根据演变已被用在光刻电子光学中,可将数值孔径提高到允差(透射)无穷大之上。它装有的工作中在193nm的氧化铋氩暴灯源的光刻专用工具和光波长更为较短的157纳米技术氟激光发生器一样高效率;而157nm激光器的计划方案早就不断探索了好多年,但最终被被淘汰了。

(4月25日重做)蔡司自此做出对于此事,称作称其一切侵权责任控告。公司声明:做为半导体产业的技术性驱动器者,蔡司依靠艺术创意和协作及其拒不接受专利权做为其工作中的基本。CarlZeissSMT企业和其发展战略合作方ASML容下不计其数的在很多各有不同的我国的专利权。

蔡司强调专利权诉讼对全部半导体业是伤害的,因为它使生产商不遵循自身的义务,有益于拓张光刻技术的发展趋势,另外损害处理芯片生产商的权益。“因而,蔡司向尼康明确指出承袭二零一四年底期满的交叉式授权文件,该协议书批准专利权的相互之间用以。令其蔡司倍感消沉的是,尼康没做出一切严肃认真的交涉,却随意选择了采行法律法规行動。


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